اللغة العربية
حلول غرف نظيفة لصناعة أشباه الموصلات والإلكترونيات
تم إنشاؤها 07.31
متطلبات ومعايير فريدة
· مطالب النظافة القصوى: تهيمن عليها درجات ISO 5-7 (الفئة 100-10,000)، مع مناطق التعبئة المتقدمة التي تتطلب ISO 4 (الفئة 10) للتحكم في الجسيمات ≥0.1μm.
· التحكم متعدد الأبعاد: إدارة درجة الحرارة (20-24℃±0.1℃) والرطوبة (40-50%±2%) والاهتزاز (≤50μm/s) والكهرباء الساكنة (≤100V) في نفس الوقت.
· المعايير الدولية: يجب الامتثال لمعايير SEMI S2 و ISO 14644 و GMP للإلكترونيات، مع متطلبات صارمة لعزل العمليات بين مراحل الإنتاج المختلفة.
الحلول الأساسية
نظام تنقية الهواء
· ترتيب الترشيح: مرشح مسبق (G4) + مرشح كفاءة متوسطة (F9) + مرشح كفاءة عالية فرعي (H13) + مرشح ULPA نهائي (كفاءة 99.999% للجزيئات ≥0.12μm).
· تصميم تدفق الهواء: تدفق أحادي الاتجاه بتغطية كاملة (0.45م/ث±20%) في المناطق الأساسية، مع معدلات تغيير الهواء تصل إلى 500 مرة/ساعة.
· التحكم في الضغط: فرق الضغط المتدرج (≥5Pa بين المناطق المجاورة) لمنع التلوث المتبادل.
إجراءات التحكم في التلوث
· إدارة المواد: أقفال هوائية للمواد الواردة، إجراءات تفريغ وتنظيف مخصصة، ومياه فائقة النقاء (18.2MΩ·cm) مع TOC ≤10ppb.
· معالجة السطح: جدران من الفولاذ المقاوم للصدأ الملحوم (304/316L)، أرضيات PVC بدون لحامات، ومواد مانعة للتسرب خالية من السيليكون.
· التحكم الكيميائي: أنظمة استخراج محلية لعمليات النقش، بكفاءة إزالة غاز الحمض ≥99%.
استراتيجيات التشغيل الرشيق
· المراقبة الذكية: عدادات الجسيمات في الوقت الحقيقي، وأجهزة استشعار درجة الحرارة/الرطوبة، وأنظمة التحكم المركزية المعتمدة على إنترنت الأشياء.
· تحسين الطاقة: وحدات استرداد الحرارة (توفير الطاقة ≥30%)، مراوح بتردد متغير، وإضاءة LED لغرف النظافة.
· بروتوكولات الصيانة: اختبار سلامة فلتر HEPA/ULPA ربع السنوي، التحقق من سرعة تدفق الهواء شهريًا، والتحقق الشامل من الأداء سنويًا.
اتجاهات المستقبل
· التقليص: التطوير نحو غرف نظيفة ISO 3 (الفئة 1) للتكيف مع عقد العمليات 3 نانومتر وأصغر.
· الابتكار الأخضر: اعتماد مواد منخفضة المركبات العضوية المتطايرة ودمج الطاقة المتجددة.
· التحول الرقمي: الصيانة التنبؤية المدفوعة بالذكاء الاصطناعي والتوائم الرقمية للتكليف الافتراضي.
تتطلب غرف نظافة أشباه الموصلات توازنًا بين النظافة الشديدة، واستقرار العمليات، وكفاءة التشغيل. من خلال دمج تقنيات الترشيح المتقدمة، والتحكم البيئي الدقيق، وأنظمة الإدارة الذكية، تدعم هذه المنشآت الحيوية إنتاج مكونات إلكترونية عالية الأداء.
الأسئلة المتكررة (FAQ)
اتصل بنا
اترك معلوماتك وسنتواصل معك.
WhatsApp