اللغة العربية
ما هي معايير تصميم الغرف النظيفة لأشباه الموصلات؟
تم إنشاؤها 2024.06.29
تشمل معايير التصميم لغرف الأشباه الموصلات النظيفة عادةً الجوانب الرئيسية التالية:
- تصنيف الغرف النظيفة:
الالتزام بالمعايير الدولية مثل ISO 14644-1، التي تحدد تصنيفات الغرف النظيفة بناءً على عدد وحجم الجسيمات المسموح بها لكل متر مكعب من الهواء. التصنيفات الشائعة لغرف الأشباه الموصلات النظيفة هي من الفئة ISO 1 إلى الفئة ISO 5.
- ترشيح الهواء وتدفقه:
استخدام فلاتر HEPA أو ULPA لتحقيق مستويات النظافة المطلوبة للهواء. أنماط تدفق الهواء عادة ما تكون أحادية الاتجاه (تدفق رقائقي) لتقليل تلوث الجسيمات.
- التحكم البيئي:
تحكم صارم في درجة الحرارة والرطوبة وضغط الهواء للحفاظ على ظروف مستقرة ومنع التلوث. تتراوح درجات الحرارة النموذجية بين 20-23 درجة مئوية، مع مستويات رطوبة بين 40-60%.
- اختيار المواد والأسطح:
استخدام مواد سهلة التنظيف ولا تتساقط للشعر للجدران والأسقف والأرضيات. تشمل المواد الشائعة الفولاذ المقاوم للصدأ والأسطح المطلية بالإيبوكسي والفينيل.
- بروتوكولات الأفراد:
تنفيذ إجراءات ارتداء الملابس واستخدام ملابس غرف الأبحاث النظيفة لتقليل التلوث الناتج عن الأفراد. يجب على الأفراد اتباع بروتوكولات صارمة للدخول والخروج والسلوك داخل غرفة الأبحاث النظيفة.
- إدارة المرافق:
تصميم غرف الأبحاث النظيفة لتشمل المرافق الضرورية مثل المياه فائقة النقاء، والغازات المتخصصة، وأنظمة التفريغ، مع ضمان عدم المساس بالبيئة النظيفة.
- التحكم في الاهتزاز والتداخل الكهرومغناطيسي:
التخفيف من الاهتزاز والتداخل الكهرومغناطيسي، والذي يمكن أن يؤثر على عمليات ومعدات أشباه الموصلات الحساسة.
- الصيانة والمراقبة:
الصيانة الدورية والمراقبة في الوقت الفعلي لظروف الغرف النظيفة لضمان الامتثال للمعايير. يشمل ذلك عدد الجسيمات، وقياسات تدفق الهواء، ومراقبة المعلمات البيئية.
- السلامة والامتثال:
الالتزام بمعايير ولوائح السلامة، بما في ذلك سلامة الحرائق، والتعامل مع المواد الكيميائية، وبروتوكولات الاستجابة للطوارئ.
تضمن معايير التصميم هذه أن تحافظ غرف الأبحاث النظيفة لأشباه الموصلات على المستوى العالي من النظافة والتحكم اللازمين لتصنيع أشباه الموصلات.
اتصل بنا
اترك معلوماتك وسنتواصل معك.
WhatsApp