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Zhuhai Semiconductor Clean Booth Construction Site Full Workflow Analysis | Modular Cleanroom Project Case
Erstellt 11.10
Einführung
In der Halbleiterindustrie erfordern Produktionsumgebungen eine äußerst strenge Kontrolle über in der Luft befindliche Partikel und statische Elektrizität. Modulare Reinraumbuden aus Edelstahl (Clean Booths) bieten eine hochgradig kontrollierte Umgebung für die Waferfertigung, Chipverpackung und Inspektion elektronischer Komponenten.
Dieser Artikel verwendet ein Projekt für eine Halbleiter-Reinraumkabine in Zhuhai, Guangdong, als Beispiel, um eine detaillierte Analyse des gesamten Workflows von der Planung bis zur Konstruktion von modularen Reinräumen bereitzustellen und bewährte Verfahren sowie Ingenieurstandards für Anwendungen in der Hochpräzisionselektronik zu präsentieren.
1. Projektübersicht
Projektstandort: Zhuhai, Guangdong, China
Reinraumtyp: Modularer Edelstahl-Reinraum
Sauberkeitsniveau: ISO 5–7
Primäre Anwendung: Halbleiterproduktion und -prüfung
Projektziel: Schnelle modulare Installation, präzise Luftstromkontrolle, Einhaltung der SEMI/ISO-Standards
2. Vorbereitung vor dem Bau
2.1 Design und Planung
Layout den modularen sauberen Raum gemäß dem Produktionsworkflow der Halbleiter.
Wichtige Designüberlegungen:
Antistatische Materialien und Erdung
Präzise Luftstromwege zur Kontrolle von Partikeln
Elektrische Verkabelung und effiziente Beleuchtungssysteme
2.2 Materialvorbereitung
Edelstahlplatten: korrosionsbeständig, leicht zu reinigen, antistatisch
HEPA/ULPA-Hocheffizienzfilter
Modulare Steckverbinder, Dichtungsstreifen und Befestigungen
Fans, elektrische Steuergeräte und Beleuchtungsausrüstung
2.3 Standortvorbereitung
Stellen Sie sicher, dass der Boden eben ist, um eine reibungslose Installation der modularen Komponenten zu erleichtern.
Messen und markieren Sie die Installationspositionen für eine genaue Platzierung
3. Modular Clean Booth Construction Workflow
3.1 Vorbereitung des Bodens und des Fundaments
Überprüfen Sie die Etage; führen Sie bei Bedarf eine Nivellierung durch
Installieren Sie antistatische Stützstrukturen für Stabilität
3.2 Edelstahlrahmenmontage
Montieren Sie den modularen Rahmen mit Schrauben oder Schweißen.
Stellen Sie die vertikale Ausrichtung und strukturelle Stabilität sicher
3.3 Panelinstallation
Installieren Sie Edelstahlplatten, um nahtlose, leicht zu reinigende und antistatische Oberflächen zu gewährleisten.
Dichten Sie die Fugen mit Dichtungsstreifen ab, um das Austreten von Partikeln zu verhindern.
3.4 Installation des Luftreinigungssystems
Installieren Sie HEPA/ULPA-Filter, Ventilatoren und Luftauslässe
Stellen Sie die Gleichmäßigkeit des Luftstroms ein, um die Sauberkeitsstandards ISO 5–7 zu erfüllen.
Vollständige Elektro- und Lichtinstallation und Durchführung von Funktionstests
3.5 Vor-Ort-Inbetriebnahme und Abnahme
Überprüfen Sie die Abdichtung, die Luftstromrichtung und die antistatische Leistung
Test der Konzentration von luftgetragenen Partikeln zur Sicherstellung der Einhaltung von SEMI/ISO-Standards
Reinigen und desinfizieren vor der Kundenannahme
4. Projekt-Highlights
Modulares Design: Schnelle Installation mit kürzeren Bauzeiten
Edelstahlmaterial: Korrosionsbeständig, antistatisch und leicht zu reinigen
Hochpräzise Luftkontrolle: Erfüllt die strengen Sauberkeitsstandards der Halbleiterindustrie
Anpassbar: Layout und Größe können gemäß den Anforderungen der Produktionslinie angepasst werden
Schnelle Lieferung: Von der Gestaltung bis zur Fertigstellung in kurzer Zeit, ideal für die schnelle Erweiterung der Halbleiterproduktion
5. Fazit & Handlungsaufforderung
Das Zhuhai-Halbleiter-Reinraumprojekt demonstriert den vollständigen Arbeitsablauf des modularen Edelstahl-Reinraumbau, der vollständig den ISO/SEMI-Hochstandards entspricht. Modulare Reinräume bieten eine schnelle Installation, einfache Wartung, präzise Luftstromkontrolle und antistatischen Schutz und bieten eine zuverlässige saubere Umgebung für Ihre Halbleiterproduktionslinien.
Handlungsaufforderung
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