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Leistungsauswahl für zentrale Klimaanlagen in Halbleiter-Reinräumen

Erstellt 2024.10.08
Im Bereich der Halbleiterfertigung sind die Umgebungsanforderungen an Reinräume äußerst streng. Als Schlüsselkomponente zur Aufrechterhaltung der konstanten Temperatur, Luftfeuchtigkeit und Sauberkeit von Reinräumen ist die Leistungsauswahl der zentralen Klimaanlage von entscheidender Bedeutung.
Dach-HLK-Einheiten ausgerichtet, mit Bergen im Hintergrund.
I. Besondere Anforderungen an Halbleiter-Reinräume
Halbleiter-Reinräume haben strenge Standards für Luftreinheit, Temperatur, Luftfeuchtigkeit und Luftströmungsgeschwindigkeit.
  1. Reinheit: Winzige Staubpartikel können fatale Auswirkungen auf Halbleiterchips haben. Daher muss die Luftreinheit von Reinräumen in der Regel ein bestimmtes Niveau erreichen. Dies erfordert, dass die zentrale Klimaanlage über ein effizientes Filtersystem verfügt.
  2. Temperaturregelung: Der Halbleiterproduktionsprozess hat extrem hohe Anforderungen an die Temperaturstabilität. Im Allgemeinen muss die Temperatur in einem sehr präzisen Bereich gesteuert werden, normalerweise ±0,1°C oder sogar mit höherer Präzision. Dies erfordert, dass die zentrale Klimaanlage eine stabile Kälte- und Wärmequelle bereitstellen und präzise Temperaturregelungsfähigkeiten besitzen kann.
  3. Luftfeuchtigkeitsregelung: Eine angemessene Luftfeuchtigkeit ist ebenfalls entscheidend für die Halbleiterproduktion. Zu hohe oder zu niedrige Luftfeuchtigkeit kann die Leistung und Qualität von Chips beeinträchtigen. Im Allgemeinen muss die Luftfeuchtigkeit in Reinräumen bei etwa 40 % - 60 % gehalten werden. Die zentrale Klimaanlage muss über präzise Luftfeuchtigkeitsregulierungsfunktionen verfügen.
  4. Luftstromgeschwindigkeit: Eine angemessene Luftstromgeschwindigkeit kann eine gleichmäßige Luftverteilung gewährleisten und gleichzeitig die Ansammlung und das Aufwirbeln von Staubpartikeln vermeiden. Zentrale Klimaanlagen müssen in der Lage sein, einen stabilen Luftstrom zu liefern, um die Anforderungen an die Luftstromgeschwindigkeit von Reinräumen zu erfüllen.
II. Zu berücksichtigende Faktoren bei der Auswahl der Leistung von zentralen Klimaanlagen
  1. Werkstattfläche und -höhe
  1. Anforderungen an die Sauberkeit
  1. Anforderungen an Temperatur- und Feuchtigkeitsregelung
  1. Wärmeableitung von Geräten und Personal
  1. Zukünftige Entwicklungsanforderungen
III. So wählen Sie die Leistung von Zentral-Klimaanlagen korrekt aus
  1. Führen Sie eine professionelle Lastberechnung durch
  1. Beziehen Sie sich auf Erfahrungen mit ähnlichen Projekten
  1. Zuverlässige Marken und Lieferanten auswählen
  1. Probebetrieb und Fehlersuche durchführen
Zusammenfassend lässt sich sagen, dass die Auswahl der Leistung von zentralen Klimaanlagen für Halbleiter-Reinräume eine komplexe und wichtige Aufgabe ist. Es ist notwendig, die besonderen Anforderungen der Werkstatt, den Einfluss verschiedener Faktoren umfassend zu berücksichtigen, professionelle Lastberechnungen durchzuführen, auf Erfahrungen ähnlicher Projekte zurückzugreifen, zuverlässige Marken und Lieferanten auszuwählen sowie Probebetrieb und Fehlersuche durchzuführen. Nur so kann eine zentrale Klimaanlage mit geeigneter Leistung ausgewählt werden, um eine stabile und zuverlässige Umgebungsgarantie für die Halbleiterproduktion zu bieten.
Guangzhou Kunling Purification Equipment Co., Ltd. konzentriert sich auf den Bereich der Reinigungsgeräte und bietet Ihnen professionelle Halbleiter-Reinraum-Lösungen, um Ihre Produktionsumgebung sauberer, stabiler und effizienter zu gestalten.
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