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¿Cuáles son los estándares de diseño para salas limpias de semiconductores?

Creado 2024.06.29
Los estándares de diseño para salas limpias de semiconductores suelen incluir los siguientes aspectos clave:
Laboratorio moderno con superficies y equipos limpios.
  1. Clasificación de Salas Limpias:
Adhesión a estándares internacionales como ISO 14644-1, que define las clasificaciones de salas limpias según el número y tamaño de partículas permitidas por metro cúbico de aire. Las clasificaciones comunes para salas limpias de semiconductores son ISO Clase 1 a ISO Clase 5.
  1. Filtración y Flujo de Aire:
Utilización de filtros HEPA o ULPA para lograr los niveles de limpieza de aire requeridos. Los patrones de flujo de aire suelen ser unidireccionales (flujo laminar) para minimizar la contaminación por partículas.
  1. Control Ambiental:
Control estricto de la temperatura, humedad y presión del aire para mantener condiciones estables y prevenir la contaminación. Los rangos de temperatura típicos son de 20-23°C, con niveles de humedad entre 40-60%.
  1. Selección de Materiales y Superficies:
Uso de materiales que no desprenden pelusa y son fáciles de limpiar para paredes, techos y suelos. Los materiales comunes incluyen acero inoxidable, superficies con recubrimiento epoxi y vinilo.
  1. Protocolos de Personal:
Implementación de procedimientos de vestimenta y el uso de prendas de sala limpia para minimizar la contaminación generada por humanos. El personal debe seguir protocolos estrictos para la entrada, salida y comportamiento dentro de la sala limpia.
  1. Gestión de Servicios Públicos:
Diseño de salas limpias para incluir servicios públicos necesarios como agua ultrapura, gases especiales y sistemas de vacío, asegurando que no comprometan el entorno limpio.
  1. Control de Vibraciones e Interferencia Electromagnética:
Mitigación de vibraciones e interferencias electromagnéticas, que pueden afectar procesos y equipos semiconductores sensibles.
  1. Mantenimiento y Monitoreo:
Mantenimiento regular y monitoreo en tiempo real de las condiciones de la sala limpia para garantizar el cumplimiento de los estándares. Esto incluye recuentos de partículas, mediciones de flujo de aire y monitoreo de parámetros ambientales.
  1. Seguridad y Cumplimiento:
Adhesión a los estándares y regulaciones de seguridad, incluyendo seguridad contra incendios, manejo de productos químicos y protocolos de respuesta a emergencias.
Estos estándares de diseño aseguran que las salas limpias de semiconductores mantengan el alto nivel de limpieza y control necesarios para la fabricación de semiconductores.
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