Dans des secteurs tels que la fabrication de semi-conducteurs (représentant 42 % de la demande mondiale en salles blanches), les biopharmaceutiques (avec un taux de croissance annuel de 8,7 %) et l'électronique de précision, le système MAU+FFU+DCC est devenu la solution privilégiée pour les salles blanches au-dessus de la classe ISO 5. Ce guide fournira une analyse approfondie des technologies clés de ce système et partagera des perspectives pratiques de leaders de l'industrie tels que TSMC et Pfizer.
I. Analyse des systèmes tridimensionnels : Des fondamentaux aux innovations de pointe
1.1 Évolution technologique des MAU de nouvelle génération
- Prétraitement de l'air : Utilise une filtration à double étage MERV14+HEPA avec une efficacité d'interception de 99,99 % pour les particules de 0,3 μm.
- Contrôle de température intelligent : Le dernier algorithme PID 2025 réduit les fluctuations de température à ±0,1 °C (norme de qualité semi-conducteur)
- Contrôle de l'humidité de précision : Combine la déshumidification rotative (point de rosée -40°C) avec la technologie d'humidification par nano-brume
1.2 Révolution Technologique dans le FFU
- Avancée en efficacité énergétique : Les ventilateurs EC réduisent la consommation d'énergie de 40 % (données de test réelles)
- Conception modulaire : Prend en charge des mises en page flexibles conformes aux normes ISO 14644-1:2015
- Filtration Upgrade: Les filtres ULPA atteignent une efficacité de 99,9995 % pour les particules de 0,12 μm
1.3 Régulation Précise du DCC
- Réponse dynamique : Ajuste la capacité de refroidissement en 5 secondes (3 fois plus rapide que les systèmes traditionnels)
- Conception Énergétiquement Efficace : Les pompes à eau à fréquence variable économisent 30 % de l'énergie de circulation de l'eau
II. Quatre systèmes de contrôle essentiels (y compris des solutions spécifiques à l'industrie)
2.1 Norme d'or pour le contrôle de la température
Paramètre | Installation de semi-conducteurs | Usine Pharmaceutique | Laboratoire |
Précision de contrôle | ±0.2°C | ±0.5°C | ±1,0°C |
Temps de réponse | <10 secondes> | <30 secondes | <1 minute |
Équipement Clé | Microcanal DCC | Dual-Source MAU | Variable-Frequency FFU |
2.2 Technologies clés de contrôle de l'humidité
- Industrie pharmaceutique : Utilise des systèmes à double mode avec déshumidification rotative + humidification à la vapeur (conforme aux exigences de l'annexe 1 des BPF)
- Production de batteries lithium : Configurations spéciales pour le contrôle du point de rosée jusqu'à -50°C
- Étude de cas : Une usine de vaccins a réduit les fluctuations d'humidité de ±5 % à ±1,5 % en utilisant un système de contrôle de l'humidité à trois niveaux.
2.3 Système d'Assurance de Propreté
- Filtration primaire : filtration combinée G4+F8 dans MAU
- Filtration Terminal : FFU équipé de filtres HEPA de grade H13/H14
- Organisation Airflow : mode d'écoulement laminaire vertical vérifié par CFD
2.4 Solutions de contrôle de pression intelligent
: Réalise des différences de pression de gradient de 5 à 15 Pa via des boîtes VAV
: Les capteurs de pression + les ventilateurs à fréquence variable réagissent en <3 secondes
- Prévention de la contamination
: Chambres d'airlock et mécanismes de protection par verrouillage de pression
III. Aperçu du Système de Contrôle Intelligent 2025
3. Mise en œuvre de l'industrie 4.0
: Simulation 3D en temps réel du fonctionnement du système
: Prédiction de la durée de vie des équipements basée sur le big data (92 % de précision)
: Prend en charge l'accès multi-plateforme via Web/APP
IV. Méthode de mise en service du système en neuf étapes (y compris la liste de contrôle sur site)
- Test unitaire : uniformité de la vitesse du vent FFU ≤ ±10%
- Test intégré : délai de réponse MAU-DCC <15 secondes
- Validation environnementale : Comptage des particules selon ISO 14644-1
- Test de pression : surveillance continue de la stabilité de la pression pendant 24 heures
- Simulation de pannes : Tests de scénarios tels que la commutation d'alimentation / la défaillance du capteur
V. Livre blanc sur l'application industrielle
Cas de l'installation de semi-conducteurs :
- Échelle du projet : salle blanche de classe 100 de 10 000㎡
- Points Techniques :
- Système de contrôle matriciel avec 3 000 FFUs
- L'efficacité de récupération de chaleur MAU atteint 75%
- Économies d'énergie annuelles de 1,2 million kWh
Solution d'usine pharmaceutique :
- Conforme aux exigences d'intégrité des données de la FDA
- Entièrement conçu pour répondre aux normes de la partie 11 du 21 CFR
- Cycle de stérilisation réduit de 30 %