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Contrôle des particules et gestion électrostatique dans les salles blanches de semi-conducteurs
Créé le 11.14
Introduction
Dans l'industrie de la fabrication des semi-conducteurs, le contrôle de l'environnement des salles blanches affecte directement le rendement des produits et la performance des puces. La contamination par de minuscules particules, la décharge électrostatique (ESD) ou les fluctuations de température et d'humidité peuvent entraîner des défauts de plaquettes ou des échecs de processus. Par conséquent, un contrôle des particules de haute qualité et une gestion électrostatique sont au cœur de la conception des salles blanches pour semi-conducteurs.
1. Importance du contrôle des particules
Le traitement des plaquettes de semi-conducteurs est extrêmement sensible ; même des particules aériennes minuscule peuvent causer des défauts de surface.
Les normes ISO 14644 spécifient les nombres de particules autorisés pour différentes classes de propreté, telles que ISO 5 ou ISO 4.
Les systèmes de circulation d'air, les filtres HEPA/ULPA et les conceptions de flux d'air zonées sont des mesures clés pour maintenir la propreté.
Le contrôle des particules affecte non seulement la qualité du produit, mais impacte également la longévité de l'équipement et les coûts de maintenance.
2. Gestion de la Décharge Électrostatique (ESD)
L'ESD peut endommager les dispositifs semi-conducteurs, en particulier dans les processus de niveau micron et nanomètre.
Les mesures de contrôle comprennent :
Revêtements de sol antistatiques et tapis conducteurs
Postes de travail et outils antistatiques
Maintenir l'humidité relative (généralement 40–60 % HR)
Personnel portant des vêtements antistatiques et des bracelets de poignet
L'intégration de la gestion ESD dans la disposition des équipements et les chemins d'air réduit considérablement le risque de dommages aux puces.
3. Organisation et zonage de l'airflow
Le flux d'air laminaire, la vitesse du vent uniforme et la direction contrôlée réduisent le dépôt de particules sur les plaquettes.
Stratégies de conception courantes :
Systèmes à écoulement descendant ou ascendant
Zones critiques avec des niveaux de propreté plus élevés
Airlocks et chambres de passage
4. Surveillance et Vérification
Le comptage régulier des particules, la surveillance de la tension ESD et l'enregistrement de la température/humidité garantissent un fonctionnement stable à long terme de la salle blanche.
Les systèmes de surveillance automatisés peuvent fournir des alertes en temps réel et faciliter la maintenance.
Conclusion
La conception de salles blanches pour semi-conducteurs ne concerne pas seulement la propreté de l'air ; elle implique également l'électrostatique, l'humidité, la température et la gestion du personnel. Le contrôle scientifique des particules, une gestion efficace de l'ESD et une surveillance robuste garantissent une production stable, un rendement plus élevé et une durée de vie prolongée des équipements.
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