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Quelles sont les normes de conception pour les salles blanches de semi-conducteurs ?

Créé le 2024.06.29
Les normes de conception pour les salles blanches de semi-conducteurs comprennent généralement les aspects clés suivants :
Laboratoire moderne avec des surfaces et des équipements propres.
  1. Classification des salles blanches :
Respect des normes internationales telles que l'ISO 14644-1, qui définit les classifications des salles blanches en fonction du nombre et de la taille des particules autorisées par mètre cube d'air. Les classifications courantes pour les salles blanches de semi-conducteurs sont les classes ISO 1 à ISO 5.
  1. Filtration et flux d'air :
Utilisation de filtres HEPA ou ULPA pour atteindre les niveaux de propreté de l'air requis. Les flux d'air sont généralement unidirectionnels (flux laminaire) pour minimiser la contamination par les particules.
  1. Contrôle environnemental :
Contrôle strict de la température, de l'humidité et de la pression de l'air pour maintenir des conditions stables et prévenir la contamination. Les plages de température typiques sont de 20 à 23 °C, avec des niveaux d'humidité compris entre 40 et 60 %.
  1. Sélection des matériaux et des surfaces :
Utilisation de matériaux faciles à nettoyer et qui ne perdent pas leurs poils pour les murs, les plafonds et les sols. Les matériaux courants comprennent l'acier inoxydable, les surfaces revêtues d'époxy et le vinyle.
  1. Protocoles du personnel :
Mise en œuvre de procédures d'habillage et utilisation de vêtements de salle blanche pour minimiser la contamination générée par l'homme. Le personnel doit suivre des protocoles stricts pour l'entrée, la sortie et le comportement dans la salle blanche.
  1. Gestion des utilités :
Conception de salles blanches incluant les utilités nécessaires telles que l'eau ultra-pure, les gaz spéciaux et les systèmes de vide, en veillant à ce qu'ils ne compromettent pas l'environnement propre.
  1. Contrôle des vibrations et des interférences électromagnétiques :
Atténuation des vibrations et des interférences électromagnétiques, qui peuvent affecter les processus et équipements sensibles des semi-conducteurs.
  1. Maintenance et surveillance :
Maintenance régulière et surveillance en temps réel des conditions des salles blanches pour garantir la conformité aux normes. Cela inclut les comptages de particules, les mesures de débit d'air et la surveillance des paramètres environnementaux.
  1. Sécurité et conformité :
Respect des normes et réglementations de sécurité, y compris la sécurité incendie, la manipulation des produits chimiques et les protocoles d'intervention d'urgence.
Ces normes de conception garantissent que les salles blanches de semi-conducteurs maintiennent le haut niveau de propreté et de contrôle nécessaire à la fabrication des semi-conducteurs.
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