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Construction de salles blanches dépoussiérées pour les semi-conducteurs à base d'oxyde de gallium bleu profond

Créé le 2024.12.04
Dans le domaine des semi-conducteurs, une révolution technologique portée par de nouveaux matériaux progresse à grands pas. L'oxyde de gallium bleu profond, en tant qu'« étoile montante » très prometteuse parmi eux, a ouvert de nouvelles voies pour la recherche et le développement de dispositifs semi-conducteurs haute performance grâce à ses excellentes propriétés. Cependant, pour passer des réalisations de laboratoire à une production industrielle à grande échelle, une salle blanche dépoussiérée adaptée à ses caractéristiques est essentielle. Guangzhou Kunling Purification Equipment Co., Ltd., profondément impliquée dans l'industrie de la purification depuis de nombreuses années, vous emmènera aujourd'hui à comprendre de manière exhaustive les points clés de la construction de salles blanches dépoussiérées pour les semi-conducteurs à base d'oxyde de gallium bleu profond.
Salle blanche moderne avec équipement de fabrication avancé.

I. Contrôle strict des niveaux de purification

Le processus de production des semi-conducteurs à base d'oxyde de gallium bleu profond est extrêmement sensible aux impuretés telles que la poussière et les micro-organismes. Dans des processus clés tels que la fabrication de plaquettes, la lithographie et la gravure, même de minuscules particules "mélangées" peuvent provoquer des courts-circuits dans les puces, une dégradation des performances et une réduction significative du taux de rendement. Par conséquent, le niveau de purification de l'atelier doit généralement atteindre des normes de classe 10, voire plus élevées. Cela signifie que le nombre de particules de poussière d'une taille supérieure à 0,5 micromètre par mètre cube d'air est strictement contrôlé à moins de 10. Guangzhou Kunling adopte des technologies de filtration d'air de pointe au niveau international. De la filtration primaire pour intercepter les grosses particules de poussière, à la filtration à moyenne efficacité pour capturer les impuretés de taille moyenne, puis à travers des filtres à air à particules à haute efficacité (HEPA) et des filtres à air à pénétration ultra-faible (ULPA) pour un "criblage" couche par couche, cela garantit que l'air entrant dans l'atelier est presque exempt d'impuretés, posant ainsi une base pure pour la production de précision.

II. Contrôle précis de la température et de l'humidité

Les propriétés électriques et la stabilité de la structure cristalline des matériaux semi-conducteurs à base d'oxyde de gallium varient considérablement dans différents environnements de température et d'humidité. La plage de température appropriée est généralement comprise entre 22 °C et 25 °C, et l'humidité est maintenue entre 40 % et 50 % d'humidité relative (HR). L'atelier est équipé d'un système intelligent de contrôle de la température et de l'humidité. Grâce à des capteurs de haute précision qui surveillent les données environnementales en temps réel, il se connecte aux climatiseurs, humidificateurs et déshumidificateurs pour réagir et s'ajuster rapidement. Lorsque la température monte lors des chaudes journées d'été, le module de réfrigération fonctionne efficacement pour refroidir ; lorsqu'il fait sec en hiver, l'équipement d'humidification pulvérise avec précision pour augmenter l'humidité, créant un "microclimat" à température et humidité constantes pour maintenir les matériaux et équipements à base d'oxyde de gallium dans les meilleures conditions de fonctionnement et réduire le risque de déviations de processus.

III. Mesures antistatiques méticuleuses

Dans le traitement des semi-conducteurs, l'électricité statique est un "tueur caché". Les circuits des puces en oxyde de gallium bleu profond sont fins, et le phénomène de décharge causé par l'électricité statique peut facilement provoquer la rupture des transistors et endommager les puces. Les matériaux de sol sont fabriqués en PVC antistatique ou en revêtement de sol autonivelant époxy, avec une résistance de surface strictement contrôlée dans la plage de 10^6 à 10^9 ohms pour dissiper rapidement l'électricité statique. Les équipements et les établis sont équipés d'éliminateurs d'électricité statique, et des ventilateurs ioniques soufflent continuellement des ions positifs et négatifs pour neutraliser les charges. Les opérateurs portent des vêtements de travail et des couvre-chaussures antistatiques, étant entièrement "armés" pour éliminer les dangers cachés de l'accumulation et de la décharge d'électricité statique à la source et protéger l'intégrité des produits.

IV. Planification scientifique de la ventilation et de l'organisation du flux d'air

Une bonne ventilation dans l'atelier peut non seulement assurer un air frais, mais aussi aider à évacuer les gaz résiduels du processus et à dissiper la chaleur pour le refroidissement. Pour des processus spécifiques dans la production d'oxyde de gallium, une combinaison de flux unidirectionnel et de flux turbulent est adoptée pour la distribution de l'air. Dans la zone de lithographie, un flux unidirectionnel vertical avec un débit stable (0,3 à 0,5 mètre par seconde) évacue précisément la poussière ; dans des zones telles que le stockage des matériaux et l'assemblage, une ventilation par flux turbulent est mise en place pour remplacer efficacement l'air. Les matériaux des conduits de ventilation sont sélectionnés en tenant compte de la prévention des incendies, de la prévention de la rouille et de faibles taux de fuite d'air. Les ventilateurs sont sélectionnés avec précision en fonction de la taille de l'atelier et de la fréquence des changements d'air pour garantir que le volume d'air et la pression d'air sont appropriés et maintenir le flux d'air ordonné et diluer la concentration de substances nocives.

V. Disposition appropriée des équipements de processus

Le processus de préparation de l'oxyde de gallium bleu profond est complexe, et les machines de lithographie, les machines de gravure, les équipements de dépôt chimique en phase vapeur, etc., varient en taille, en poids et ont des exigences spéciales en matière de vibrations pendant le fonctionnement et de dissipation thermique. L'agencement de l'atelier respecte le principe d'un "flux de processus fluide et d'absence d'interférence entre les équipements". Différentes zones fonctionnelles sont délimitées, et les équipements lourds sont placés dans des zones avec une bonne capacité de charge et une excellente absorption des chocs. Des canaux de dissipation thermique sont réservés et des dispositifs de refroidissement sont installés en fonction des courbes de dissipation thermique des équipements. Les intervalles entre les équipements adjacents sont raisonnables pour faciliter la maintenance, le fonctionnement et le débogage, permettant une liaison efficace des équipements et une production stable de produits semi-conducteurs de haute qualité.

VI. Gestion et formation améliorées du personnel

Les personnes sont un facteur clé dans le fonctionnement de l'atelier, mais elles constituent également une source potentielle de pollution. Le personnel entrant dans la salle blanche dépoussiérée pour le bleu profond d'oxyde de gallium doit suivre un processus d'habillage strict, allant de la douche à air pour l'élimination de la poussière au port de vêtements de protection stériles, de masques et de gants, couche par couche pour le nettoyage. Une formation professionnelle est régulièrement dispensée pour renforcer les connaissances des employés sur les processus de semi-conducteurs, les normes de fonctionnement dans les salles blanches et la capacité à réagir aux urgences. Les nouveaux employés reçoivent des conseils pratiques de collègues expérimentés pour maîtriser les détails de la manipulation des matériaux et de l'utilisation des équipements, réduisant ainsi la probabilité de contamination et de dommages des produits causés par des erreurs humaines.
La construction de salles blanches dépoussiérées pour les semi-conducteurs à base d'oxyde de gallium bleu profond représente à la fois un défi et une opportunité. Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. s'appuie sur sa riche expérience de projet, son équipe technique professionnelle et ses produits de purification de haute qualité pour proposer des solutions personnalisées et complètes tout au long du processus. De la planification préliminaire à la construction, en passant par l'exploitation et la maintenance ultérieures, nous déploierons des efforts précis pour aider les entreprises à saisir le leadership dans l'industrie de l'oxyde de gallium bleu profond. Si vous prévoyez un tel projet d'atelier ou si vous avez des questions sur les détails de construction, n'hésitez pas à nous contacter immédiatement et travaillons ensemble pour créer un nouveau modèle de fabrication de semi-conducteurs propres.
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