Bahasa Indonesia
Pengendalian Partikel dan Manajemen Elektrostatik di Ruang Bersih Semikonduktor
Dibuat pada 11.14
Pengantar
Dalam industri manufaktur semikonduktor, pengendalian lingkungan ruang bersih secara langsung mempengaruhi hasil produk dan kinerja chip. Kontaminasi partikel kecil, pelepasan elektrostatik (ESD), atau fluktuasi suhu dan kelembapan dapat menyebabkan cacat wafer atau kegagalan proses. Oleh karena itu, pengendalian partikel standar tinggi dan manajemen elektrostatik adalah hal yang penting dalam desain ruang bersih semikonduktor.
1. Pentingnya Kontrol Partikel
Proses pengolahan wafer semikonduktor sangat sensitif; bahkan partikel udara yang sangat kecil dapat menyebabkan cacat permukaan.
Standar ISO 14644 menetapkan jumlah partikel yang diizinkan untuk berbagai kelas kebersihan, seperti ISO 5 atau ISO 4.
Sistem sirkulasi udara, filter HEPA/ULPA, dan desain aliran udara terzonasi adalah langkah kunci untuk menjaga kebersihan.
Pengendalian partikel tidak hanya mempengaruhi kualitas produk tetapi juga berdampak pada umur peralatan dan biaya pemeliharaan.
2. Manajemen Pelepasan Elektrostatik (ESD)
ESD dapat merusak perangkat semikonduktor, terutama dalam proses tingkat mikron dan nanometer.
Langkah-langkah pengendalian meliputi:
Lantai anti-statis dan matras konduktif
Tempat kerja dan alat anti-statis
Mempertahankan kelembapan relatif (biasanya 40–60% RH)
Personel yang mengenakan pakaian antistatik dan tali pergelangan tangan
Mengintegrasikan manajemen ESD ke dalam tata letak peralatan dan jalur aliran udara secara signifikan mengurangi risiko kerusakan chip.
3. Organisasi dan Zona Aliran Udara
Aliran udara laminar, kecepatan angin yang uniform, dan arah yang terkontrol mengurangi deposisi partikel pada wafer.
Strategi desain umum:
Sistem aliran turun atau aliran naik
Zona kritis dengan tingkat kebersihan yang lebih tinggi
Kamar udara dan ruang lewat
4. Pemantauan dan Verifikasi
Penghitungan partikel secara teratur, pemantauan tegangan ESD, dan pencatatan suhu/kelembapan memastikan operasi ruang bersih yang stabil dalam jangka panjang.
Sistem pemantauan otomatis dapat memberikan peringatan waktu nyata dan memfasilitasi pemeliharaan.
Kesimpulan
Desain ruang bersih semikonduktor tidak hanya tentang kebersihan udara; ini juga melibatkan elektrostatik, kelembapan, suhu, dan manajemen personel. Pengendalian partikel ilmiah, manajemen ESD yang efektif, dan pemantauan yang kuat memastikan produksi yang stabil, hasil yang lebih tinggi, dan umur peralatan yang lebih lama.
Kontak
Tinggalkan informasi Anda dan kami akan menghubungi Anda.
WhatsApp