Bahasa Indonesia
Solusi Ruang Bersih untuk Industri Semikonduktor dan Elektronik
Dibuat pada 07.31
Persyaratan dan Standar Unik
· Tuntutan kebersihan ekstrem: Didominasi oleh kelas ISO 5-7 (Kelas 100-10.000), dengan area pengemasan yang canggih memerlukan ISO 4 (Kelas 10) untuk mengendalikan partikel ≥0.1μm.
· Kontrol multidimensi: Secara bersamaan mengelola suhu (20-24℃±0.1℃), kelembapan (40-50%±2%), getaran (≤50μm/s), dan listrik statis (≤100V).
· Standar internasional: Harus mematuhi SEMI S2, ISO 14644, dan GMP untuk elektronik, dengan persyaratan isolasi proses yang ketat antara berbagai tahap produksi.
Solusi Inti
Sistem Pemurnian Udara
· Hierarki filtrasi: Pre-filter (G4) + filter efisiensi menengah (F9) + filter sub-efisiensi tinggi (H13) + filter ULPA terminal (efisiensi 99.999% untuk ≥0.12μm partikel).
· Desain aliran udara: Cakupan penuh aliran unidirectional (0,45m/s±20%) di area inti, dengan laju pergantian udara hingga 500 kali/jam.
· Kontrol tekanan: Perbedaan tekanan gradien (≥5Pa antara zona yang berdekatan) untuk mencegah kontaminasi silang.
Tindakan Pengendalian Kontaminasi
· Manajemen material: Airlock untuk bahan yang masuk, prosedur pembongkaran dan pembersihan yang khusus, dan air ultra-murni (18.2MΩ·cm) dengan TOC ≤10ppb.
· Perawatan permukaan: Dinding stainless steel yang dilas (304/316L), lantai PVC tanpa sambungan, dan sealant tanpa silikon.
· Kontrol kimia: Sistem penghisap lokal untuk proses etsa, dengan efisiensi penghilangan gas asam ≥99%.
Strategi Operasi Lean
· Pemantauan cerdas: Penghitung partikel waktu nyata, sensor suhu/kelembapan, dan sistem kontrol terpusat berbasis IoT.
· Optimasi energi: Unit pemulihan panas (penghematan energi ≥30%), kipas frekuensi variabel, dan pencahayaan ruang bersih LED.
· Protokol pemeliharaan: Pengujian integritas filter HEPA/ULPA triwulanan, verifikasi kecepatan aliran udara bulanan, dan validasi kinerja komprehensif tahunan.
Tren Masa Depan
· Miniaturisasi: Pengembangan menuju ISO 3 (Kelas 1) ruang bersih untuk beradaptasi dengan node proses 3nm dan lebih kecil.
· Inovasi hijau: Adopsi bahan rendah VOC dan integrasi energi terbarukan.
· Transformasi digital: Pemeliharaan prediktif yang didorong oleh AI dan kembar digital untuk komisioning virtual.
Ruang bersih semikonduktor memerlukan keseimbangan antara kebersihan ekstrem, stabilitas proses, dan efisiensi operasional. Dengan mengintegrasikan teknologi filtrasi canggih, kontrol lingkungan yang tepat, dan sistem manajemen cerdas, fasilitas kritis ini mendukung produksi komponen elektronik berkinerja tinggi.
Pertanyaan yang Sering Diajukan (FAQ)
Kontak
Tinggalkan informasi Anda dan kami akan menghubungi Anda.
WhatsApp