Bahasa Indonesia
Apa Itu Ruang Bersih Semikonduktor?
Dibuat pada 05.28
Pengantar ke Ruang Bersih Semikonduktor
Sebuah ruang bersih semikonduktor adalah lingkungan yang terkontrol yang dirancang untuk meminimalkan kontaminasi selama pembuatan mikrochip, sirkuit terintegrasi (IC), dan komponen elektronik lainnya. Bahkan partikel mikroskopis dapat mengganggu produksi, menjadikan ruang bersih sangat penting untuk fabrikasi dengan hasil tinggi.
Karakteristik kunci meliputi:
Ultra-low particle count (ISO Kelas 1-9)
Kontrol suhu/kelembapan yang ketat (presisi ±0.1°C)
Filtrasi udara lanjutan (filter HEPA/ULPA)
perlindungan pelepasan elektrostatik (ESD)
Fasilitas ini mematuhi standar global seperti ISO 14644-1 (klasifikasi ruang bersih) dan SEMI S2/S8 (pedoman keselamatan peralatan).
Standar Klasifikasi Ruang Bersih
ISO 14644-1 Kelas Ruang Bersih
Ruang bersih semikonduktor biasanya beroperasi pada Kelas ISO 1-5, yang berarti:
ISO Kelas | Max Particles (≥0.1µm/m³) | Kasus Penggunaan Umum |
ISO 1 | 10 | Teknologi litografi EUV mutakhir |
ISO 3 | 1.000 | Produksi wafer NAND 3D |
ISO 5 | 100.000 | Pembuatan chip warisan |
Standar Khusus Industri
SEMI Standards: Menentukan kompatibilitas peralatan (misalnya, SEMI F47 untuk ketahanan terhadap penurunan tegangan).
Fed 209E (Legacy): Standar AS yang lebih lama digantikan oleh ISO 14644.
Fitur Desain Ruang Bersih yang Kritis
1. Kontrol Aliran
Aliran Unidirectional (Laminar): Aliran udara Vertikal/Horisontal untuk menyapu partikel.
Sistem Sirkulasi: 90%+ penggunaan kembali udara dengan filtrasi HEPA.
2. Protokol Material dan Personel
Persyaratan Pakaian:
Kelas 1-3: Setelan kelinci penuh dengan masker wajah.
Kelas 5-6: Cakupan terbatas (penutup kepala, sarung tangan).
Batasan Material: Logam/plastik yang tidak mengelupas (misalnya, stainless steel, PTFE).
3. Mitigasi Getaran dan EMI
Stabilitas Lantai: Slab terisolasi (batas getaran 1-2 µm per IEST-RP-CC012).
EMI Shielding: Mencegah gangguan pada alat metrologi yang sensitif.
Mengapa Ruang Bersih Penting dalam Manufaktur Semikonduktor
Pencegahan Cacat
Sebuah partikel tunggal 20µm dapat merusak transistor 5nm. Ruang bersih mengurangi:
Kehilangan hasil (Hingga 50% di lingkungan yang tidak terkontrol).
Kontaminasi silang (misalnya, doping tembaga dalam silikon).
Efisiensi Biaya
Pengurangan Waktu Henti: Lebih sedikit kontaminan berarti lebih sedikit pengerjaan ulang wafer.
Kepatuhan Regulasi: Memenuhi IEEE 1680 untuk elektronik berkelanjutan.
Kesimpulan
Ruang bersih semikonduktor adalah lingkungan yang dirancang dengan presisi dan sangat penting untuk memproduksi chip yang dapat diandalkan. Dengan mematuhi standar ISO, SEMI, dan IEST, mereka memungkinkan fabrikasi skala nanometer dengan cacat minimal. Seiring dengan menyusutnya geometri chip, teknologi ruang bersih terus berkembang—dengan pemantauan partikel yang didorong oleh AI dan ruang bersih modular yang semakin populer.
Bagi produsen, berinvestasi dalam ruang bersih bersertifikat bukanlah pilihan; itu adalah tulang punggung inovasi semikonduktor.
Pertanyaan yang Sering Diajukan (FAQ)
Kontak
Tinggalkan informasi Anda dan kami akan menghubungi Anda.
WhatsApp