Bahasa Indonesia

Apa Saja Standar Desain untuk Ruang Bersih Semikonduktor?

Dibuat pada 2024.06.29
Standar desain untuk cleanroom semikonduktor biasanya mencakup aspek-aspek kunci berikut:
Laboratorium modern dengan permukaan dan peralatan yang bersih.
  1. Klasifikasi Cleanroom:
Kepatuhan terhadap standar internasional seperti ISO 14644-1, yang mendefinisikan klasifikasi cleanroom berdasarkan jumlah dan ukuran partikel yang diizinkan per meter kubik udara. Klasifikasi umum untuk cleanroom semikonduktor adalah ISO Kelas 1 hingga ISO Kelas 5.
  1. Filtrasi dan Aliran Udara:
Penggunaan filter HEPA atau ULPA untuk mencapai tingkat kebersihan udara yang dibutuhkan. Pola aliran udara biasanya searah (aliran laminar) untuk meminimalkan kontaminasi partikel.
  1. Kontrol Lingkungan:
Kontrol ketat terhadap suhu, kelembaban, dan tekanan udara untuk menjaga kondisi stabil dan mencegah kontaminasi. Rentang suhu tipikal adalah 20-23°C, dengan tingkat kelembaban antara 40-60%.
  1. Pemilihan Material dan Permukaan:
Penggunaan material yang tidak mudah rontok dan mudah dibersihkan untuk dinding, langit-langit, dan lantai. Material umum meliputi baja tahan karat, permukaan berlapis epoksi, dan vinil.
  1. Protokol Personel:
Implementasi prosedur gowning dan penggunaan pakaian cleanroom untuk meminimalkan kontaminasi yang dihasilkan manusia. Personel harus mengikuti protokol ketat untuk masuk, keluar, dan berperilaku di dalam cleanroom.
  1. Manajemen Utilitas:
Desain ruang bersih untuk mencakup utilitas yang diperlukan seperti air ultra-murni, gas khusus, dan sistem vakum, memastikan bahwa utilitas tersebut tidak mengkompromikan lingkungan bersih.
  1. Kontrol Getaran dan Interferensi Elektromagnetik:
Mitigasi getaran dan interferensi elektromagnetik, yang dapat memengaruhi proses dan peralatan semikonduktor yang sensitif.
  1. Pemeliharaan dan Pemantauan:
Pemeliharaan rutin dan pemantauan kondisi ruang bersih secara real-time untuk memastikan kepatuhan terhadap standar. Ini termasuk jumlah partikel, pengukuran aliran udara, dan pemantauan parameter lingkungan.
  1. Keselamatan dan Kepatuhan:
Kepatuhan terhadap standar dan peraturan keselamatan, termasuk keselamatan kebakaran, penanganan bahan kimia, dan protokol tanggap darurat.
Standar desain ini memastikan bahwa ruang bersih semikonduktor mempertahankan tingkat kebersihan dan kontrol tinggi yang diperlukan untuk manufaktur semikonduktor.
Kontak
Tinggalkan informasi Anda dan kami akan menghubungi Anda.
WhatsApp