Bahasa Indonesia

Apa Itu Ruang Bersih Semikonduktor?

Dibuat pada 2025.05.28

Pengantar Ruang Bersih Semikonduktor

Ruang bersih semikonduktor adalah lingkungan terkontrol yang dirancang untuk meminimalkan kontaminasi selama pembuatan microchip, sirkuit terpadu (IC), dan komponen elektronik lainnya. Bahkan partikel mikroskopis dapat mengganggu produksi, menjadikan ruang bersih penting untuk fabrikasi dengan hasil tinggi.
Karakteristik utama meliputi:
Jumlah partikel ultra-rendah (Kelas ISO 1-9)
Kontrol suhu/kelembaban yang ketat (presisi ±0,1°C)
Filtrasi udara canggih (filter HEPA/ULPA)
Perlindungan pelepasan muatan elektrostatis (ESD)
Fasilitas ini mematuhi standar global seperti ISO 14644-1 (klasifikasi ruang bersih) dan SEMI S2/S8 (pedoman keselamatan peralatan).
Ruang bersih semikonduktor dengan partisi transparan di lantai biru.
Standar Klasifikasi Ruang Bersih

Kelas Ruang Bersih ISO 14644-1

Ruang bersih semikonduktor biasanya beroperasi pada ISO Kelas 1-5, yang berarti:
ISO Kelas
Partikel Maks (≥0.1µm/m³)
Kasus Penggunaan Umum
ISO 1
10
Litografi EUV mutakhir
ISO 3
1.000
Produksi wafer NAND 3D
ISO 5
100.000
Fabrikasi chip lama

Standar Khusus Industri

Standar SEMI: Mendefinisikan kompatibilitas peralatan (misalnya, SEMI F47 untuk kekebalan terhadap penurunan tegangan).
Fed 209E (Warisan): Standar AS lama yang digantikan oleh ISO 14644.
Ruang bersih dengan lantai biru, standar ISO 14644-1 ditampilkan di dinding.
Fitur Desain Ruang Bersih Kritis

1. Kontrol Aliran Udara

Aliran Unidireksional (Laminar): Aliran udara vertikal/horizontal untuk menyapu partikel.
Sistem Resirkulasi: Penggunaan kembali udara 90%+ dengan filtrasi HEPA.

2. Protokol Material dan Personel

Persyaratan Pakaian:
Kelas 1-3: Pakaian kelinci lengkap dengan masker wajah.
Kelas 5-6: Cakupan terbatas (penutup kepala, sarung tangan).
Pembatasan Material: Logam/plastik yang tidak mudah rontok (misalnya, baja tahan karat, PTFE).

3. Mitigasi Getaran dan EMI

Stabilitas Lantai: Pelat terisolasi (batas getaran 1-2 µm per IEST-RP-CC012).
Perisai EMI: Mencegah gangguan pada alat metrologi sensitif.
Mengapa Ruang Bersih Penting dalam Manufaktur Semikonduktor

Pencegahan Cacat

Satu partikel berukuran 20µm dapat merusak transistor 5nm. Ruang bersih mengurangi:
Kehilangan hasil (Hingga 50% di lingkungan yang tidak terkontrol).
Kontaminasi silang (misalnya, doping tembaga dalam silikon).

Efisiensi Biaya

Pengurangan Waktu Henti: Lebih sedikit kontaminan berarti lebih sedikit pengerjaan ulang wafer.
Kepatuhan Regulasi: Memenuhi IEEE 1680 untuk elektronik berkelanjutan.
Ruang bersih dengan partisi transparan dan teks standar ISO, SEMI, IEST.
Kesimpulan
Ruang bersih semikonduktor adalah lingkungan yang direkayasa dengan presisi yang penting untuk memproduksi chip yang andal. Dengan mematuhi standar ISO, SEMI, dan IEST, mereka memungkinkan fabrikasi skala nanometer dengan cacat minimal. Seiring dengan semakin kecilnya geometri chip, teknologi ruang bersih terus berkembang—dengan pemantauan partikel berbasis AI dan ruang bersih modular yang semakin populer.
Bagi produsen, berinvestasi dalam ruang bersih bersertifikat bukanlah pilihan; itu adalah tulang punggung inovasi semikonduktor.
Pertanyaan yang Sering Diajukan (FAQ)
1. Apakah Fasilitas Pengolahan Makanan Membutuhkan Ruang Bersih?
2. Pentingnya dan Penerapan Global Pemasangan Air Shower di Pabrik Pengolahan Makanan
3. Analisis Mendalam Spesifikasi Outlet Pasokan Udara Efisiensi Tinggi dan Volume Udara yang Sesuai
4. Proposal Kerjasama Global Ruang Bersih
5. Memecahkan Misteri Luar Biasa dari Meja Uji FFU
6. Metode Perhitungan Kapasitas Pendinginan di Ruang Bersih
7. Pemilihan Sistem Kontrol Pendingin Udara untuk Ruang Bersih
8. Jendela Lewat Pabrik Makanan yang Nyaman: Memperkuat Penghalang Keamanan Pangan dan Meningkatkan Efisiensi Produksi Secara Signifikan dengan Solusi Inti
9. Apa itu Air Shower? Pahami Cara Memurnikan Udara dalam Satu Artikel
10. Masalah Umum dan Solusi untuk Ruang Ganti Pabrik Makanan
Kontak
Tinggalkan informasi Anda dan kami akan menghubungi Anda.
WhatsApp