Bahasa Indonesia
Konstruksi Ruang Bersih Bebas Debu untuk Semikonduktor Galium Oksida Biru Tua
Dibuat pada 2024.12.04
Di bidang semikonduktor, revolusi teknologi yang didorong oleh material baru sedang melaju kencang. Gallium oksida biru tua, sebagai "bintang yang sedang naik daun" yang sangat menjanjikan di antara mereka, telah membuka jalan baru untuk penelitian dan pengembangan perangkat semikonduktor berkinerja tinggi dengan sifatnya yang luar biasa. Namun, untuk mengubahnya dari pencapaian laboratorium menjadi produksi industri skala besar, ruang bersih bebas debu yang sesuai dengan karakteristiknya sangatlah penting. Guangzhou Kunling Purification Equipment Co., Ltd., yang telah lama berkecimpung di industri pemurnian, akan membawa Anda untuk memahami secara komprehensif poin-poin penting dalam pembangunan ruang bersih bebas debu untuk semikonduktor gallium oksida biru tua hari ini.
I. Kontrol Ketat Tingkat Pemurnian
Proses produksi semikonduktor galium oksida biru tua sangat sensitif terhadap pengotor seperti debu dan mikroorganisme. Dalam proses-proses kunci seperti pembuatan wafer, litografi, dan etsa, bahkan partikel sekecil apa pun yang "tercampur" dapat menyebabkan korsleting pada chip, penurunan kinerja, dan penurunan signifikan pada tingkat hasil produksi. Oleh karena itu, tingkat kemurnian bengkel kerja biasanya perlu mencapai standar Kelas 10 atau bahkan lebih tinggi. Ini berarti jumlah partikel debu dengan ukuran partikel lebih besar dari 0,5 mikrometer di setiap meter kubik udara dikontrol secara ketat dalam 10. Guangzhou Kunling mengadopsi teknologi filtrasi udara terkemuka internasional. Mulai dari filtrasi primer untuk menangkap partikel debu besar, filtrasi efisiensi menengah untuk menangkap pengotor berukuran sedang, dan kemudian melalui filter udara partikulat efisiensi tinggi (HEPA) dan filter udara penetrasi ultra-rendah (ULPA) untuk "penyaringan" lapis demi lapis, ini memastikan bahwa udara yang masuk ke bengkel kerja hampir bebas dari pengotor, meletakkan dasar yang murni untuk produksi presisi.
II. Kontrol Presisi Suhu dan Kelembaban
Sifat kelistrikan dan stabilitas struktur kristal material semikonduktor gallium oksida sangat bervariasi di bawah lingkungan suhu dan kelembaban yang berbeda. Rentang suhu yang sesuai biasanya terkunci antara 22 °C dan 25 °C, dan kelembaban dijaga pada 40% - 50% kelembaban relatif (RH). Bengkel dilengkapi dengan sistem kontrol suhu dan kelembaban cerdas. Melalui sensor presisi tinggi yang memantau data lingkungan secara real-time, sistem ini terhubung dengan AC, pelembap udara, dan pengering udara untuk merespons dan menyesuaikan dengan cepat. Ketika suhu melonjak di hari-hari musim panas yang terik, modul pendingin beroperasi secara efisien untuk mendinginkan; ketika kering di musim dingin, peralatan pelembap menyemprotkan secara presisi untuk meningkatkan kelembaban, menciptakan "iklim mikro" suhu dan kelembaban konstan untuk menjaga material dan peralatan gallium oksida dalam kondisi kerja terbaik dan mengurangi risiko penyimpangan proses.
III. Tindakan Anti-statis yang Cermat
Dalam pemrosesan semikonduktor, listrik statis adalah "pembunuh tersembunyi". Sirkuit chip galium oksida biru tua sangat halus, dan fenomena pelepasan muatan yang disebabkan oleh listrik statis dapat dengan mudah merusak transistor dan chip. Bahan lantai terbuat dari PVC anti-statis atau lantai self-leveling epoksi, dengan resistansi permukaan yang dikontrol ketat dalam kisaran 10^6 - 10^9 ohm untuk menghilangkan listrik statis dengan cepat. Peralatan dan meja kerja dilengkapi dengan penghilang statis, dan kipas ion terus-menerus meniupkan ion positif dan negatif untuk menetralkan muatan. Operator mengenakan pakaian kerja dan penutup sepatu anti-statis, "bersenjata lengkap" untuk menghilangkan bahaya tersembunyi dari akumulasi dan pelepasan listrik statis dari sumbernya dan melindungi integritas produk.
IV. Perencanaan Ilmiah Ventilasi dan Organisasi Aliran Udara
Ventilasi yang baik di bengkel tidak hanya dapat memastikan udara segar, tetapi juga membantu membuang gas limbah proses dan menghilangkan panas untuk pendinginan. Untuk proses spesifik dalam produksi galium oksida, digunakan kombinasi bentuk distribusi udara aliran searah dan aliran turbulen. Di area litografi, aliran searah vertikal dengan laju aliran yang stabil (0,3 - 0,5 meter per detik) secara tepat membawa debu keluar; di area seperti penyimpanan material dan perakitan, ventilasi aliran turbulen dipasang untuk mengganti udara secara efisien. Material untuk saluran ventilasi dipilih dengan mempertimbangkan pencegahan kebakaran, pencegahan karat, dan tingkat kebocoran udara yang rendah. Kipas angin dipilih secara akurat sesuai dengan skala bengkel dan frekuensi pergantian udara untuk memastikan volume udara dan tekanan udara sesuai serta menjaga aliran udara yang teratur dan mengencerkan konsentrasi zat berbahaya.
V. Tata Letak Peralatan Proses yang Tepat
Proses persiapan gallium oksida biru tua itu rumit, dan mesin litografi, mesin etsa, peralatan deposisi uap kimia, dll. bervariasi dalam ukuran, berat, dan memiliki persyaratan khusus untuk getaran selama operasi dan pembuangan panas. Tata letak bengkel mematuhi prinsip "aliran proses yang lancar dan tidak ada gangguan antar peralatan". Area fungsional yang berbeda dibagi, dan peralatan berat ditempatkan di area dengan daya dukung yang baik dan penyerapan guncangan yang sangat baik. Saluran pembuangan panas disediakan dan perangkat pendingin dipasang sesuai dengan kurva pembuangan panas peralatan. Jarak antar peralatan yang berdekatan masuk akal untuk memfasilitasi pemeliharaan, operasi, dan debugging, memungkinkan keterkaitan peralatan yang efisien dan produksi produk semikonduktor berkualitas tinggi yang stabil.
VI. Manajemen dan Pelatihan Personel yang Ditingkatkan
Orang adalah faktor kunci dalam pengoperasian bengkel, tetapi mereka juga merupakan sumber polusi potensial. Personel yang memasuki ruang bersih bebas debu untuk galium oksida biru tua perlu melalui proses berpakaian yang ketat, mulai dari pembersihan debu di pancuran udara hingga mengenakan pakaian pelindung steril, masker, dan sarung tangan, lapis demi lapis untuk pembersihan. Pelatihan profesional secara teratur dilakukan untuk memperkuat pengetahuan karyawan tentang proses semikonduktor, norma operasi di ruang bersih, dan kemampuan untuk menanggapi keadaan darurat. Karyawan baru diberikan panduan praktis oleh rekan kerja yang berpengalaman untuk menguasai detail penanganan material dan pengoperasian peralatan, mengurangi kemungkinan kontaminasi dan kerusakan produk yang disebabkan oleh kesalahan manusia.
Membangun ruang bersih bebas debu untuk semikonduktor galium oksida biru tua merupakan tantangan sekaligus peluang. Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. mengandalkan pengalaman proyek yang kaya, tim teknis profesional, dan produk pemurnian berkualitas tinggi untuk menyesuaikan solusi satu atap di seluruh proses. Mulai dari perencanaan awal, konstruksi hingga operasi dan pemeliharaan selanjutnya, kami akan melakukan upaya yang tepat untuk membantu perusahaan merebut posisi terdepan dalam industri galium oksida biru tua. Jika Anda merencanakan proyek bengkel semacam itu atau memiliki pertanyaan tentang detail konstruksi, jangan ragu untuk segera menghubungi kami dan mari kita bekerja sama untuk menciptakan model baru manufaktur semikonduktor bersih.
Kontak
Tinggalkan informasi Anda dan kami akan menghubungi Anda.
WhatsApp