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Quais são os Padrões de Projeto para Salas Limpas de Semicondutores?

Criado em 2024.06.29
Os padrões de projeto para salas limpas de semicondutores geralmente incluem os seguintes aspectos chave:
Laboratório moderno com superfícies e equipamentos limpos.
  1. Classificação da Sala Limpa:
Adesão a padrões internacionais como a ISO 14644-1, que define as classificações de salas limpas com base no número e tamanho de partículas permitidas por metro cúbico de ar. As classificações comuns para salas limpas de semicondutores são ISO Classe 1 a ISO Classe 5.
  1. Filtragem e Fluxo de Ar:
Utilização de filtros HEPA ou ULPA para atingir os níveis de limpeza de ar necessários. Os padrões de fluxo de ar são tipicamente unidirecionais (fluxo laminar) para minimizar a contaminação por partículas.
  1. Controle Ambiental:
Controle rigoroso de temperatura, umidade e pressão do ar para manter condições estáveis e prevenir contaminação. Faixas típicas de temperatura são 20-23°C, com níveis de umidade entre 40-60%.
  1. Seleção de Materiais e Superfícies:
Uso de materiais fáceis de limpar e que não soltam pelos para paredes, tetos e pisos. Materiais comuns incluem aço inoxidável, superfícies com revestimento epóxi e vinil.
  1. Protocolos de Pessoal:
Implementação de procedimentos de vestimenta e uso de vestimentas de sala limpa para minimizar a contaminação gerada por humanos. O pessoal deve seguir protocolos rigorosos para entrada, saída e comportamento dentro da sala limpa.
  1. Gerenciamento de Utilidades:
Projeto de salas limpas para incluir utilidades necessárias, como água ultrapura, gases especiais e sistemas de vácuo, garantindo que não comprometam o ambiente limpo.
  1. Controle de Vibração e Interferência Eletromagnética:
Mitigação de vibração e interferência eletromagnética, que podem afetar processos e equipamentos sensíveis de semicondutores.
  1. Manutenção e Monitoramento:
Manutenção regular e monitoramento em tempo real das condições da sala limpa para garantir a conformidade com os padrões. Isso inclui contagem de partículas, medições de fluxo de ar e monitoramento de parâmetros ambientais.
  1. Segurança e Conformidade:
Adesão a normas e regulamentos de segurança, incluindo segurança contra incêndio, manuseio de produtos químicos e protocolos de resposta a emergências.
Esses padrões de projeto garantem que as salas limpas de semicondutores mantenham o alto nível de limpeza e controle necessários para a fabricação de semicondutores.
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