Русский
Каковы стандарты проектирования чистых помещений для полупроводников?
Создано 2024.06.29
Стандарты проектирования для полупроводниковых чистых помещений обычно включают следующие ключевые аспекты:
- Классификация чистых помещений:
Соблюдение международных стандартов, таких как ISO 14644-1, который определяет классификацию чистых помещений на основе количества и размера частиц, допустимых на кубический метр воздуха. Распространенные классификации для полупроводниковых чистых помещений — от ISO класса 1 до ISO класса 5.
- Фильтрация и поток воздуха:
Использование фильтров HEPA или ULPA для достижения требуемых уровней чистоты воздуха. Потоки воздуха обычно однонаправленные (ламинарный поток) для минимизации загрязнения частицами.
- Контроль окружающей среды:
Строгий контроль температуры, влажности и давления воздуха для поддержания стабильных условий и предотвращения загрязнения. Типичные диапазоны температур составляют 20-23°C, а уровни влажности — от 40-60%.
- Выбор материалов и поверхностей:
Использование материалов, не образующих ворс и легко чистящихся, для стен, потолков и полов. К распространенным материалам относятся нержавеющая сталь, поверхности с эпоксидным покрытием и винил.
- Протоколы для персонала:
Внедрение процедур переодевания и использование одежды для чистых помещений для минимизации загрязнений, генерируемых человеком. Персонал должен строго соблюдать протоколы входа, выхода и поведения в чистом помещении.
- Управление инженерными системами:
Проектирование чистых помещений с учетом необходимых инженерных систем, таких как ультрачистая вода, специальные газы и вакуумные системы, гарантируя, что они не нарушают чистоту окружающей среды.
- Контроль вибрации и электромагнитных помех:
Снижение вибрации и электромагнитных помех, которые могут повлиять на чувствительные полупроводниковые процессы и оборудование.
- Техническое обслуживание и мониторинг:
Регулярное техническое обслуживание и мониторинг в режиме реального времени условий в чистых помещениях для обеспечения соответствия стандартам. Это включает подсчет частиц, измерение воздушного потока и мониторинг параметров окружающей среды.
- Безопасность и соответствие требованиям:
Соблюдение стандартов и правил безопасности, включая пожарную безопасность, обращение с химикатами и протоколы реагирования на чрезвычайные ситуации.
Эти стандарты проектирования гарантируют, что чистые помещения для производства полупроводников поддерживают высокий уровень чистоты и контроля, необходимый для производства полупроводников.
Контакт
Оставьте вашу информацию, и мы свяжемся с вами.
WhatsApp