Русский

Строительство пылезащищенных чистых помещений для полупроводников на основе глубокого синего оксида галлия

Создано 2024.12.04
В полупроводниковой отрасли стремительно набирает обороты технологическая революция, движимая новыми материалами. Глубокий синий оксид галлия, как одна из наиболее перспективных «восходящих звезд» среди них, открывает новые пути для исследований и разработок высокопроизводительных полупроводниковых устройств благодаря своим превосходным свойствам. Однако, чтобы перейти от лабораторных достижений к крупномасштабному промышленному производству, необходима безпылевая чистая комната, соответствующая его характеристикам. Компания Guangzhou Kunling Purification Equipment Co., Ltd., много лет работающая в индустрии очистки, сегодня познакомит вас с ключевыми моментами строительства безпылевых чистых комнат для полупроводников на основе глубокого синего оксида галлия.
Современная чистая комната с передовым производственным оборудованием.

I. Строгий контроль уровней очистки

Производственный процесс глубоководных галлиевых оксидных полупроводников чрезвычайно чувствителен к таким примесям, как пыль и микроорганизмы. На ключевых этапах, таких как производство пластин, литография и травление, даже мельчайшие "посторонние" частицы могут вызвать короткое замыкание в чипах, снижение производительности и значительное уменьшение выхода годных изделий. Поэтому уровень чистоты цеха обычно должен соответствовать стандартам Класса 10 или даже выше. Это означает, что количество пылевых частиц размером более 0,5 микрометра в каждом кубическом метре воздуха строго контролируется в пределах 10. Guangzhou Kunling использует передовые международные технологии фильтрации воздуха. От первичной фильтрации для улавливания крупных частиц пыли, до среднеэффективной фильтрации для захвата примесей среднего размера, а затем через высокоэффективные фильтры твердых частиц (HEPA) и фильтры с ультранизким проникновением (ULPA) для послойного "просеивания", обеспечивается практически полное отсутствие примесей во вводимом в цех воздухе, закладывая чистую основу для прецизионного производства.

II. Точный контроль температуры и влажности

Электрические свойства и стабильность кристаллической структуры полупроводниковых материалов на основе оксида галлия значительно различаются в зависимости от температуры и влажности окружающей среды. Оптимальный температурный диапазон обычно составляет от 22 °C до 25 °C, а влажность поддерживается на уровне 40–50 % относительной влажности (RH). Цех оснащен интеллектуальной системой контроля температуры и влажности. Высокоточные датчики, отслеживающие данные окружающей среды в режиме реального времени, взаимодействуют с кондиционерами, увлажнителями и осушителями для быстрой реакции и регулировки. Когда температура повышается в жаркие летние дни, холодильный модуль эффективно работает для охлаждения; когда зимой сухо, увлажнительное оборудование точно распыляет воду для повышения влажности, создавая постоянный температурно-влажностный "микроклимат" для поддержания материалов на основе оксида галлия и оборудования в наилучшем рабочем состоянии и снижения риска отклонений в процессе.

III. Тщательные антистатические меры

В полупроводниковом производстве статическое электричество является «скрытым убийцей». Схемы глубокосиних чипов из оксида галлия очень тонкие, и явление разряда, вызванное статическим электричеством, может легко пробить транзисторы и повредить чипы. Напольные покрытия изготовлены из антистатического ПВХ или эпоксидного наливного пола, при этом поверхностное сопротивление строго контролируется в диапазоне от 10^6 до 10^9 Ом для быстрого рассеивания статического электричества. Оборудование и рабочие столы оснащены антистатическими устройствами, а ионные вентиляторы непрерывно выдувают положительные и отрицательные ионы для нейтрализации зарядов. Операторы носят антистатическую рабочую одежду и бахилы, будучи полностью «вооруженными» для устранения скрытых опасностей накопления и разряда статического электричества из источника и защиты целостности продукции.

IV. Научное планирование вентиляции и организации воздушных потоков

Хорошая вентиляция в цехе не только обеспечивает свежий воздух, но и помогает отводить технологические отходы и рассеивать тепло для охлаждения. Для конкретных процессов в производстве оксида галлия используются комбинации однонаправленного и турбулентного потоков воздуха. В зоне литографии вертикальный однонаправленный поток со стабильной скоростью (0,3–0,5 метра в секунду) точно удаляет пыль; в таких зонах, как склад материалов и сборка, установлена турбулентная вентиляция для эффективной замены воздуха. Материалы для вентиляционных каналов выбираются с учетом пожарной безопасности, защиты от ржавчины и низкого уровня утечки воздуха. Вентиляторы точно подбираются в соответствии с масштабом цеха и частотой смены воздуха, чтобы обеспечить подходящий объем и давление воздуха, поддерживать упорядоченный поток воздуха и разбавлять концентрацию вредных веществ.

V. Соответствующее расположение технологического оборудования

Процесс подготовки глубокосинего оксида галлия сложен, а литографические машины, установки для травления, оборудование для химического осаждения из паровой фазы и т. д. различаются по размеру, весу и имеют особые требования к вибрации во время работы и отводу тепла. Планировка цеха придерживается принципа «плавного технологического процесса и отсутствия помех между оборудованием». Разделены различные функциональные зоны, а тяжелое оборудование размещено в зонах с хорошей несущей способностью и отличным амортизатором. Каналы отвода тепла зарезервированы, а охлаждающие устройства установлены в соответствии с кривыми отвода тепла оборудования. Интервалы между соседним оборудованием разумны для облегчения обслуживания, эксплуатации и отладки, обеспечивая эффективную связь оборудования и стабильное производство высококачественных полупроводниковых изделий.

VI. Улучшенное управление персоналом и обучение

Люди являются ключевым фактором в работе цеха, но также и потенциальным источником загрязнения. Персонал, входящий в чистую комнату для работы с глубоко-синим оксидом галлия, должен пройти строгий процесс облачения: от удаления пыли в воздушном шлюзе до надевания стерильной защитной одежды, масок и перчаток, слой за слоем проводя очистку. Регулярно проводится профессиональное обучение для повышения знаний сотрудников о полупроводниковых процессах, нормах работы в чистых помещениях и способности реагировать на чрезвычайные ситуации. Новым сотрудникам опытные коллеги оказывают практическую помощь в освоении деталей обращения с материалами и эксплуатации оборудования, снижая вероятность загрязнения продукции и повреждений, вызванных человеческим фактором.
Строительство безпылевых чистых помещений для полупроводников на основе оксида галлия глубокого синего спектра является одновременно вызовом и возможностью. Компания Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. опирается на свой богатый опыт реализации проектов, профессиональную техническую команду и высококачественную продукцию для очистки, чтобы предложить комплексные решения на всех этапах. От предварительного планирования и строительства до последующей эксплуатации и технического обслуживания, мы приложим все усилия, чтобы помочь предприятиям занять лидирующие позиции в индустрии полупроводников на основе оксида галлия глубокого синего спектра. Если вы планируете такой проект цеха или у вас есть вопросы по деталям строительства, пожалуйста, немедленно свяжитесь с нами, и давайте вместе создадим новую модель производства чистых полупроводников.
Контакт
Оставьте вашу информацию, и мы свяжемся с вами.
WhatsApp