ภาษาไทย
โซลูชันห้องสะอาดสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และอิเล็กทรอนิกส์
สร้างใน 07.31
ข้อกำหนดและมาตรฐานเฉพาะ
· ความสะอาดสุดขีดที่ต้องการ: ครอบงำโดยเกรด ISO 5-7 (ชั้น 100-10,000) โดยมีพื้นที่บรรจุภัณฑ์ขั้นสูงที่ต้องการ ISO 4 (ชั้น 10) เพื่อควบคุมอนุภาค ≥0.1μm.
· การควบคุมหลายมิติ: จัดการอุณหภูมิ (20-24℃±0.1℃), ความชื้น (40-50%±2%), การสั่นสะเทือน (≤50μm/s), และไฟฟ้าสถิต (≤100V)
· มาตรฐานสากล: ต้องปฏิบัติตาม SEMI S2, ISO 14644 และ GMP สำหรับอิเล็กทรอนิกส์ โดยมีข้อกำหนดการแยกกระบวนการที่เข้มงวดระหว่างขั้นตอนการผลิตที่แตกต่างกัน
Core Solutions
ระบบการฟอกอากาศ
· การกรองลำดับชั้น: ตัวกรองก่อน (G4) + ตัวกรองประสิทธิภาพปานกลาง (F9) + ตัวกรองประสิทธิภาพสูงรอง (H13) + ตัวกรอง ULPA สุดท้าย (ประสิทธิภาพ 99.999% สำหรับอนุภาค ≥0.12μm).
· การออกแบบการไหลของอากาศ: การไหลแบบทิศทางเดียวที่ครอบคลุมเต็มที่ (0.45m/s±20%) ในพื้นที่หลัก โดยมีอัตราการเปลี่ยนแปลงอากาศสูงสุดถึง 500 ครั้ง/ชั่วโมง
· การควบคุมความดัน: ความแตกต่างของความดันเกรเดียนต์ (≥5Pa ระหว่างโซนที่อยู่ติดกัน) เพื่อป้องกันการปนเปื้อนข้าม.
มาตรการควบคุมการปนเปื้อน
· การจัดการวัสดุ: ประตูอากาศสำหรับวัสดุที่เข้ามา, ขั้นตอนการแกะกล่องและทำความสะอาดที่เฉพาะเจาะจง, และน้ำบริสุทธิ์พิเศษ (18.2MΩ·cm) ที่มี TOC ≤10ppb.
· การบำบัดพื้นผิว: ผนังสแตนเลสที่เชื่อม (304/316L), พื้น PVC แบบไร้รอยต่อ, และวัสดุซีลที่ปราศจากซิลิโคน.
· การควบคุมทางเคมี: ระบบระบายอากาศท้องถิ่นสำหรับกระบวนการกัดกร่อน โดยมีประสิทธิภาพในการกำจัดก๊าซกรด ≥99%
กลยุทธ์การดำเนินงานแบบลีน
· การตรวจสอบอัจฉริยะ: เครื่องนับอนุภาคแบบเรียลไทม์, เซ็นเซอร์อุณหภูมิ/ความชื้น, และระบบควบคุมกลางที่ใช้ IoT.
· การเพิ่มประสิทธิภาพพลังงาน: หน่วยฟื้นฟูความร้อน (การประหยัดพลังงาน ≥30%), พัดลมความถี่ตัวแปร, และไฟ LED สำหรับห้องสะอาด.
· โปรโตคอลการบำรุงรักษา: การทดสอบความสมบูรณ์ของฟิลเตอร์ HEPA/ULPA รายไตรมาส, การตรวจสอบความเร็วการไหลของอากาศรายเดือน, และการตรวจสอบประสิทธิภาพโดยรวมประจำปี.
แนวโน้มในอนาคต
· การทำให้เล็กลง: การพัฒนาไปสู่ห้องสะอาด ISO 3 (ชั้น 1) เพื่อปรับให้เข้ากับโหนดกระบวนการ 3nm และเล็กกว่า
· นวัตกรรมสีเขียว: การนำวัสดุที่มี VOC ต่ำและการบูรณาการพลังงานหมุนเวียนมาใช้
· การเปลี่ยนแปลงดิจิทัล: การบำรุงรักษาที่คาดการณ์ได้ด้วย AI และดิจิทัลทวินสำหรับการเริ่มต้นเสมือน.
ห้องสะอาดเซมิคอนดักเตอร์ต้องการความสมดุลระหว่างความสะอาดที่สูงสุด ความเสถียรของกระบวนการ และประสิทธิภาพในการดำเนินงาน โดยการรวมเทคโนโลยีการกรองขั้นสูง การควบคุมสภาพแวดล้อมที่แม่นยำ และระบบการจัดการอัจฉริยะ สิ่งอำนวยความสะดวกที่สำคัญเหล่านี้สนับสนุนการผลิตชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ที่มีประสิทธิภาพสูง
คำถามที่พบบ่อย (FAQ)
ติดต่อ
กรุณาทิ้งข้อมูลของคุณไว้แล้วเราจะติดต่อคุณ
WhatsApp