ภาษาไทย
มาตรฐานการออกแบบสำหรับห้องคลีนรูมเซมิคอนดักเตอร์คืออะไร?
สร้างใน 2024.06.29
มาตรฐานการออกแบบสำหรับคลีนรูมเซมิคอนดักเตอร์โดยทั่วไปประกอบด้วยประเด็นสำคัญดังต่อไปนี้:
- การจำแนกประเภทคลีนรูม:
การปฏิบัติตามมาตรฐานสากล เช่น ISO 14644-1 ซึ่งกำหนดการจำแนกประเภทคลีนรูมตามจำนวนและขนาดของอนุภาคที่อนุญาตต่อลูกบาศก์เมตรของอากาศ การจำแนกประเภททั่วไปสำหรับคลีนรูมเซมิคอนดักเตอร์คือ ISO Class 1 ถึง ISO Class 5
- การกรองอากาศและการไหลของอากาศ:
การใช้ตัวกรอง HEPA หรือ ULPA เพื่อให้ได้ระดับความสะอาดของอากาศตามที่กำหนด รูปแบบการไหลของอากาศโดยทั่วไปจะเป็นทิศทางเดียว (laminar flow) เพื่อลดการปนเปื้อนของอนุภาค
- การควบคุมสภาพแวดล้อม:
การควบคุมอุณหภูมิ ความชื้น และความดันอากาศอย่างเข้มงวดเพื่อรักษาสภาพที่เสถียรและป้องกันการปนเปื้อน ช่วงอุณหภูมิทั่วไปคือ 20-23°C โดยมีความชื้นระหว่าง 40-60%
- การเลือกวัสดุและพื้นผิว:
การใช้วัสดุที่ไม่หลุดลอก ทำความสะอาดง่ายสำหรับผนัง เพดาน และพื้น วัสดุทั่วไป ได้แก่ สแตนเลส พื้นผิวเคลือบอีพ็อกซี่ และไวนิล
- ระเบียบปฏิบัติสำหรับบุคลากร:
การดำเนินการตามขั้นตอนการสวมชุดและใช้ชุดคลีนรูมเพื่อลดการปนเปื้อนที่เกิดจากมนุษย์ บุคลากรต้องปฏิบัติตามระเบียบที่เข้มงวดสำหรับการเข้า ออก และพฤติกรรมภายในคลีนรูม
- การจัดการระบบสาธารณูปโภค:
การออกแบบห้องคลีนรูมให้รวมถึงระบบสาธารณูปโภคที่จำเป็น เช่น น้ำบริสุทธิ์พิเศษ ก๊าซพิเศษ และระบบสุญญากาศ เพื่อให้มั่นใจว่าจะไม่ส่งผลกระทบต่อสภาพแวดล้อมที่สะอาด
- การควบคุมการสั่นสะเทือนและการรบกวนทางแม่เหล็กไฟฟ้า:
การลดการสั่นสะเทือนและการรบกวนทางแม่เหล็กไฟฟ้า ซึ่งอาจส่งผลกระทบต่อกระบวนการและอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ที่ละเอียดอ่อน
- การบำรุงรักษาและการตรวจสอบ:
การบำรุงรักษาอย่างสม่ำเสมอและการตรวจสอบสภาพห้องคลีนรูมแบบเรียลไทม์เพื่อให้แน่ใจว่าเป็นไปตามมาตรฐาน ซึ่งรวมถึงการนับอนุภาค การวัดการไหลของอากาศ และการตรวจสอบพารามิเตอร์สิ่งแวดล้อม
- ความปลอดภัยและการปฏิบัติตามข้อกำหนด:
การปฏิบัติตามมาตรฐานและข้อบังคับด้านความปลอดภัย รวมถึงความปลอดภัยจากอัคคีภัย การจัดการสารเคมี และระเบียบการตอบสนองต่อเหตุฉุกเฉิน
มาตรฐานการออกแบบเหล่านี้ช่วยให้มั่นใจได้ว่าห้องคลีนรูมสำหรับเซมิคอนดักเตอร์จะรักษาความสะอาดและการควบคุมในระดับสูงที่จำเป็นสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
ติดต่อ
กรุณาทิ้งข้อมูลของคุณไว้แล้วเราจะติดต่อคุณ
WhatsApp