ภาษาไทย

การก่อสร้างห้องคลีนรูมปราศจากฝุ่นสำหรับเซมิคอนดักเตอร์แกเลียมออกไซด์สีน้ำเงินเข้ม

สร้างใน 2024.12.04
ในวงการเซมิคอนดักเตอร์ การปฏิวัติทางเทคโนโลยีที่ขับเคลื่อนด้วยวัสดุใหม่กำลังก้าวไปข้างหน้าอย่างรวดเร็ว แกเลียมออกไซด์สีน้ำเงินเข้ม (Deep blue gallium oxide) ในฐานะ "ดาวรุ่ง" ที่มีศักยภาพสูงในกลุ่มนี้ ได้เปิดเส้นทางใหม่สำหรับการวิจัยและพัฒนาอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ประสิทธิภาพสูง ด้วยคุณสมบัติที่ยอดเยี่ยม อย่างไรก็ตาม การจะเปลี่ยนจากผลสำเร็จในห้องปฏิบัติการไปสู่การผลิตเชิงอุตสาหกรรมขนาดใหญ่ได้นั้น จำเป็นต้องมีห้องคลีนรูมปราศจากฝุ่นที่เหมาะสมกับคุณสมบัติของมัน บริษัท กวางโจว คุนหลิง เพียวริฟิเคชั่น อีควิปเมนท์ จำกัด (Guangzhou Kunling Purification Equipment Co., Ltd.) ซึ่งมีประสบการณ์ยาวนานในอุตสาหกรรมระบบกรองอากาศ จะพาคุณไปทำความเข้าใจประเด็นสำคัญในการก่อสร้างห้องคลีนรูมปราศจากฝุ่นสำหรับเซมิคอนดักเตอร์แกเลียมออกไซด์สีน้ำเงินเข้มในวันนี้
ห้องคลีนรูมที่ทันสมัยพร้อมอุปกรณ์การผลิตขั้นสูง

I. การควบคุมระดับการทำให้บริสุทธิ์อย่างเข้มงวด

กระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์แกเลียมออกไซด์สีน้ำเงินเข้มมีความไวต่อสิ่งเจือปน เช่น ฝุ่นและจุลินทรีย์อย่างยิ่ง ในกระบวนการสำคัญ เช่น การผลิตเวเฟอร์ การลิโทกราฟี และการกัด แม้แต่ละอองเล็กๆ ที่ "ปะปนเข้ามา" ก็สามารถทำให้เกิดไฟฟ้าลัดวงจรในชิป ประสิทธิภาพลดลง และอัตราผลผลิตลดลงอย่างมาก ดังนั้น ระดับการทำให้บริสุทธิ์ของห้องปฏิบัติการมักจะต้องได้มาตรฐานระดับ Class 10 หรือสูงกว่านั้น ซึ่งหมายความว่าจำนวนอนุภาคฝุ่นที่มีขนาดอนุภาคใหญ่กว่า 0.5 ไมโครเมตรในอากาศแต่ละลูกบาศก์เมตรจะถูกควบคุมอย่างเข้มงวดไม่เกิน 10 อนุภาค กวางโจวคุนหลิงนำเทคโนโลยีการกรองอากาศชั้นนำระดับสากลมาใช้ ตั้งแต่การกรองเบื้องต้นเพื่อดักจับอนุภาคฝุ่นขนาดใหญ่ การกรองประสิทธิภาพปานกลางเพื่อจับสิ่งเจือปนขนาดกลาง และจากนั้นผ่านตัวกรองอากาศอนุภาคประสิทธิภาพสูง (HEPA) และตัวกรองอากาศการแทรกซึมต่ำพิเศษ (ULPA) เพื่อ "คัดกรอง" ทีละชั้น เพื่อให้แน่ใจว่าอากาศที่เข้าสู่ห้องปฏิบัติการแทบจะปราศจากสิ่งเจือปน ซึ่งเป็นการวางรากฐานที่บริสุทธิ์สำหรับการผลิตที่แม่นยำ

II. การควบคุมอุณหภูมิและความชื้นอย่างแม่นยำ

คุณสมบัติทางไฟฟ้าและความเสถียรของโครงสร้างผลึกของวัสดุสารกึ่งตัวนำแกลเลียมออกไซด์มีความแตกต่างกันอย่างมากภายใต้สภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิและความชื้นต่างกัน ช่วงอุณหภูมิที่เหมาะสมมักจะอยู่ที่ระหว่าง 22 °C ถึง 25 °C และความชื้นจะถูกรักษาไว้ที่ 40% - 50% ความชื้นสัมพัทธ์ (RH) โรงงานผลิตมีระบบควบคุมอุณหภูมิและความชื้นอัจฉริยะ ผ่านเซ็นเซอร์ความแม่นยำสูงที่ตรวจสอบข้อมูลสภาพแวดล้อมแบบเรียลไทม์ ระบบจะเชื่อมต่อกับเครื่องปรับอากาศ เครื่องทำความชื้น และเครื่องลดความชื้น เพื่อตอบสนองและปรับเปลี่ยนได้อย่างรวดเร็ว เมื่ออุณหภูมิสูงขึ้นในวันฤดูร้อนที่อากาศร้อน โมดูลทำความเย็นจะทำงานอย่างมีประสิทธิภาพเพื่อลดอุณหภูมิลง เมื่ออากาศแห้งในฤดูหนาว อุปกรณ์ทำความชื้นจะฉีดพ่นอย่างแม่นยำเพื่อเพิ่มความชื้น สร้าง "สภาพอากาศขนาดเล็ก" ที่มีอุณหภูมิและความชื้นคงที่ เพื่อรักษาสภาพวัสดุแกลเลียมออกไซด์และอุปกรณ์ให้อยู่ในสภาวะการทำงานที่ดีที่สุด และลดความเสี่ยงของการเบี่ยงเบนของกระบวนการ

III. มาตรการป้องกันไฟฟ้าสถิตอย่างพิถีพิถัน

ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ไฟฟ้าสถิตคือ "นักฆ่าที่มองไม่เห็น" วงจรของชิปแกลเลียมออกไซด์สีน้ำเงินเข้มมีความละเอียดอ่อน ปรากฏการณ์การคายประจุที่เกิดจากไฟฟ้าสถิตสามารถทำให้ทรานซิสเตอร์เสียหายและทำลายชิปได้ง่าย วัสดุปูพื้นทำจาก PVC ป้องกันไฟฟ้าสถิต หรือพื้นอีพ็อกซี่แบบปรับระดับได้เอง โดยมีการควบคุมความต้านทานพื้นผิวอย่างเข้มงวดให้อยู่ในช่วง 10^6 - 10^9 โอห์ม เพื่อกระจายไฟฟ้าสถิตได้อย่างรวดเร็ว อุปกรณ์และโต๊ะทำงานติดตั้งเครื่องกำจัดไฟฟ้าสถิต และพัดลมไอออนเป่าไอออนบวกและลบอย่างต่อเนื่องเพื่อทำให้ประจุเป็นกลาง ผู้ปฏิบัติงานสวมชุดทำงานและปลอกหุ้มรองเท้าป้องกันไฟฟ้าสถิต "ติดอาวุธ" ครบครันเพื่อกำจัดอันตรายที่ซ่อนอยู่ของการสะสมและการคายประจุไฟฟ้าสถิตตั้งแต่ต้นทาง และปกป้องความสมบูรณ์ของผลิตภัณฑ์

IV. การวางแผนทางวิทยาศาสตร์สำหรับการระบายอากาศและการจัดระเบียบการไหลของอากาศ

การระบายอากาศที่ดีในโรงงานสามารถช่วยให้อากาศสดชื่น ขจัดก๊าซเสียจากกระบวนการ และระบายความร้อนเพื่อการทำความเย็นได้ สำหรับกระบวนการเฉพาะในการผลิตแกลเลียมออกไซด์ จะใช้การผสมผสานระหว่างการไหลแบบทิศทางเดียวและการไหลแบบปั่นป่วน ในพื้นที่การพิมพ์ลายวงจร (lithography) จะใช้การไหลแบบทิศทางเดียวในแนวตั้งด้วยอัตราการไหลที่คงที่ (0.3 - 0.5 เมตรต่อวินาที) เพื่อกำจัดฝุ่นออกไปอย่างแม่นยำ ในพื้นที่ต่างๆ เช่น การจัดเก็บวัสดุและการประกอบ จะมีการระบายอากาศแบบปั่นป่วนเพื่อเปลี่ยนอากาศอย่างมีประสิทธิภาพ วัสดุสำหรับท่อระบายอากาศจะถูกเลือกโดยคำนึงถึงการป้องกันไฟ การป้องกันสนิม และอัตราการรั่วไหลของอากาศที่ต่ำ พัดลมจะถูกเลือกอย่างแม่นยำตามขนาดของโรงงานและความถี่ของการเปลี่ยนอากาศ เพื่อให้แน่ใจว่าปริมาณอากาศและความดันอากาศเหมาะสม และรักษาการไหลเวียนของอากาศที่เป็นระเบียบและเจือจางความเข้มข้นของสารอันตราย

V. การจัดวางอุปกรณ์กระบวนการที่เหมาะสม

กระบวนการเตรียมแกเลียมออกไซด์สีน้ำเงินเข้มมีความซับซ้อน เครื่องลิโทกราฟี เครื่องสลัก เครื่องเคลือบไอสารเคมี ฯลฯ มีขนาด น้ำหนัก และข้อกำหนดพิเศษสำหรับการสั่นสะเทือนระหว่างการทำงานและการระบายความร้อนที่แตกต่างกัน การจัดวางผังโรงงานยึดตามหลักการ "กระบวนการไหลราบรื่นและการไม่รบกวนระหว่างอุปกรณ์" มีการแบ่งพื้นที่การทำงานที่แตกต่างกัน และอุปกรณ์หนักจะถูกวางไว้ในพื้นที่ที่มีการรับน้ำหนักที่ดีและการดูดซับแรงสั่นสะเทือนที่ยอดเยี่ยม มีการจัดสรรช่องทางการระบายความร้อนและติดตั้งอุปกรณ์ทำความเย็นตามเส้นโค้งการระบายความร้อนของอุปกรณ์ ระยะห่างระหว่างอุปกรณ์ที่อยู่ติดกันมีความเหมาะสมเพื่ออำนวยความสะดวกในการบำรุงรักษา การปฏิบัติงาน และการดีบัก ซึ่งช่วยให้การเชื่อมโยงอุปกรณ์มีประสิทธิภาพและการผลิตผลิตภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์คุณภาพสูงที่เสถียร

VI. การบริหารจัดการและการฝึกอบรมบุคลากรที่ได้รับการปรับปรุง

บุคลากรเป็นปัจจัยสำคัญในการดำเนินงานของโรงงาน แต่ก็เป็นแหล่งที่มาของมลพิษที่อาจเกิดขึ้นได้เช่นกัน บุคลากรที่เข้าสู่ห้องคลีนรูมปราศจากฝุ่นสำหรับแกลเลียมออกไซด์สีน้ำเงินเข้มจะต้องผ่านกระบวนการแต่งกายที่เข้มงวด ตั้งแต่การกำจัดฝุ่นด้วยเครื่องอบอากาศ ไปจนถึงการสวมชุดป้องกันที่ปลอดเชื้อ หน้ากาก และถุงมือ ทำความสะอาดทีละชั้น มีการฝึกอบรมอย่างสม่ำเสมอเพื่อเสริมสร้างความรู้ของพนักงานเกี่ยวกับกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ มาตรฐานการปฏิบัติงานในคลีนรูม และความสามารถในการรับมือกับเหตุฉุกเฉิน พนักงานใหม่จะได้รับการแนะนำเชิงปฏิบัติจากเพื่อนร่วมงานที่มีประสบการณ์ เพื่อให้เชี่ยวชาญในรายละเอียดของการจัดการวัสดุและการใช้งานอุปกรณ์ ลดโอกาสที่ผลิตภัณฑ์จะปนเปื้อนและเสียหายอันเนื่องมาจากความผิดพลาดของมนุษย์
การมีส่วนร่วมในการก่อสร้างห้องคลีนรูมปราศจากฝุ่นสำหรับเซมิคอนดักเตอร์แกลเลียมออกไซด์สีน้ำเงินเข้ม ถือเป็นทั้งความท้าทายและโอกาส บริษัท กวางโจว คลีนรูม คอนสตรัคชั่น จำกัด อาศัยประสบการณ์โครงการอันยาวนาน ทีมเทคนิคผู้เชี่ยวชาญ และผลิตภัณฑ์ฟอกอากาศคุณภาพสูง เพื่อนำเสนอโซลูชันแบบครบวงจรตลอดกระบวนการ ตั้งแต่การวางแผนเบื้องต้น การก่อสร้าง ไปจนถึงการดำเนินงานและการบำรุงรักษาในภายหลัง เราจะทุ่มเทอย่างแม่นยำเพื่อช่วยให้องค์กรคว้าโอกาสสำคัญในอุตสาหกรรมแกลเลียมออกไซด์สีน้ำเงินเข้ม หากท่านกำลังวางแผนโครงการโรงงานดังกล่าว หรือมีข้อสงสัยเกี่ยวกับรายละเอียดการก่อสร้าง โปรดติดต่อเราทันที เพื่อร่วมกันสร้างสรรค์รูปแบบใหม่ของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่สะอาด
ติดต่อ
กรุณาทิ้งข้อมูลของคุณไว้แล้วเราจะติดต่อคุณ
WhatsApp